Les Défis du CEA n°181 jui/aoû 2013
Les Défis du CEA n°181 jui/aoû 2013
  • Prix facial : gratuit

  • Parution : n°181 de jui/aoû 2013

  • Périodicité : mensuel

  • Editeur : CEA

  • Format : (200 x 297) mm

  • Nombre de pages : 24

  • Taille du fichier PDF : 2 Mo

  • Dans ce numéro : ça bouge chez les Mems !

  • Prix de vente (PDF) : gratuit

Dans ce numéro...
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grand angle MICROéLECTRONIQUE Ca bouge chez les MEMS ! Wafers de silicium sur lesquels sont gravés les MEMS, NEMS et autres M&NEMS. 14 Les défis du CEA Plus d’informations sur www.cea.fr
Ils mesurent moins de cent millièmes de millimètres, comportent au moins un élément mobile ou vibrant, et sont capables de détecter la moindre variation de vitesse, de direction ou de poids. On les trouve au cœur des systèmes automobiles, nichés dans les téléphones portables ou les manettes de jeu vidéo. Les MEMS (pour Micro Electro Mechanical System) ont envahi notre quotidien. Depuis trente ans, les chercheurs du CEA-Leti, à Grenoble, se consacrent à ces dispositifs, en partenariat avec des industriels. Depuis quelques années, ils accèdent à l’échelle nanométrique avec les NEMS. En combinant ces derniers aux MEMS, ils présentent un concept inédit ouvrant de nouvelles perspectives. Bienvenue dans le monde des M&NEMS ! Dossier réalisé par Patrick Philipon Les MEMS en pleine rupture technologique Freescale/CEA-Leti : Des MEMS sous le capot ! Une aventure à l’échelle nanométrique INTERVIEW Philippe Robert M&NEMS, un marché d’avenir ! Juillet/Août 2013 N°181 P.F. Grosjean/CEA 15



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