8 P.Avavian/CEA À la une les défis du cea octobre 2011 « Seuls quelques laboratoires en Europe développent cette nouvelle technique d’holographie électronique. » Pascale Bayle-Guillemaud, spécialiste en microscopie électronique-CEA-Inac » > EXPÉRIMENTATION Nanosonde Auger utilisée pour l’analyse de surface. disposition, localisation) et surtout sur leur arrangement, leur nature et leur environnement chimique », explique Pascale Bayle-Guillemaud. Pour cela, les instituts partenaires disposaient certes d’outils de caractérisation, mais ils étaient dispersés sur le site grenoblois. Vers 2004, l’idée émerge de rassembler ces équipements, et surtout les compétences qui vont avec, afin d’obtenir une « masse critique » et créer une nouvelle dynamique. Après deux ans de réflexion, la PFNC était née. « C’est devenu une structure unique en Europe, dédiée aux nano - sciences et aux nanotechnologies, rassemblant sept centres de compétences autour de presque autant de techniques de caractérisation (voir l’encadré ci-dessous) », résume Jean-Claude Royer, du CEA-Leti. Dotée de financements de différentes provenances, en particulier le programme RTB 5, auquel s’ajoutent des fonds de la Fondation Nanosciences aux limites de la nanoélectronique 6 de Grenoble et des instituts eux-mêmes, la plateforme peut investir environ 3,5 millions d’euros par an dans des SIX TECHNIQUES DE CARACTÉRISATION Microscopie électronique Envoi sur l’échantillon d’un faisceau de lumière pour former une image, obtenir un cliché de diffraction ou un spectre d’énergie. Technologie versatile aux différentes « variétés » : imagerie ultra-haute résolution, précession électronique, holographie, spectroscopie, tomographie (reconstruction d’une image en volume). Analyse par rayons X Analyse chimique, cartographie de la texture de l’échantillon et mesure des déformations cristallines dans les nanostructures, avec des sources X haute brillance de laboratoire et les rayonnements X des synchrotrons, en particulier celui de l’ESRF (reconstruction d’une image en volume). notes : 5. Porté par le CEA-Leti et l’Insis (Institut des sciences de l’ingénierie et des systèmes, CNRS), ce programme axé sur les nanosciences appartient au Réseau national de grandes centrales de technologie pour la recherche technologique de base (Renatech) lancé en 2003. 6. Un réseau thématique de recherche avancée (RTRA, structures créées en 2006 par la loi de programme pour la recherche). Analyse par faisceaux d’ions focalisés (SIMS, MEIS, sonde atomique) Étude par spectroscopie de l’émission des ions d’un échantillon soumis à un bombardement ionique ou laser. Analyse de la composition d’un échantillon, avec informations 3D grâce à la sonde atomique récemment acquise par la PFNC, avec une très grande sensibilité (ppm, voireppb) et une résolution en profondeur (50 nm latéralement). |