© photos : c.fréSILLon/CNRS Photothèque N°270 I janvier-février 2013 Un jour avec… | 37 un jour avec… Roland Salut Par Esther Leburgue 8 h 30 Test réussi ! Roland Salut a de l’or entre les mains. La machine qu’il est en train de contrôler, livrée en août dernier à l’institut Femto-ST, vaut un million d’euros ! Il s’agit d’un graveur ionique focalisé (Fib). À l’abri sous un plafond soufflant qui assure un environnement propre, cet instrument combine deux faisceaux convergents. Le premier, composé d’électrons, est vertical. Il permet de réaliser des images en très haute résolution, à une échelle inférieure au nanomètre. Le second faisceau, incliné, est constitué d’ions gallium. Il sert à graver la matière. Contrairement à l’ancien Fib qui fonctionnait en salle blanche, le nouveau préfère cette salle climatisée plus classique, « car ici, il n’est pas perturbé par les champs magnétiques et les vibrations », précise Roland Salut. Ce matin, cet appareil délicat réserve une bonne nouvelle : « Hier, j’ai lancé un test d’automatisation. Je lui ai demandé de répéter la gravure d’un motif de 32 micromètres. Au bout du motif, il devait se repositionner à l’aide de repères et recommencer. Il a enchaîné la séquence pendant cinq heures, sur 300 micromètres. » Un vrai progrès : avec le modèle précédent, Roland Salut aurait dû rester devant la machine. 10 h 00 Former les utilisateurs Équipé d’une combinaison, de surchaussures et de gants, il entre à présent dans la salle blanche de 400 m². Ici, température, hygrométrie et empoussièrement sont Ingénieur nano salle blanche. Salle sous atmosphère contrôlée, qui permet d’éviter les perturbations environnementales. À voir sur le journal en ligne : la suite du reportage photo dans cet institut. régulés avec précision. « Certaines poussières sont plus grosses que ce sur quoi nous travaillons, souligne-t-il en montrant un minuscule point blanc. Elles pourraient nous gêner ! » Roland Salut va former Alexandra Monnin, de l’institut Utinam 3, à l’utilisation du microscope électronique à balayage (Meb). Cet appareil est capable de fournir des images d’un matériau et d’en connaître les composants. « La machine donne le résultat en deux minutes, commente Roland Salut. Mais avant, il faut régler le faisceau d’électrons qui balaie l’échantillon, puis faire plusieurs mesures pour les comparer. » La formation terminée, sa collègue pourra se servir seule du Meb et se référer si besoin à la notice rédigée par Roland Salut. 14 h 00 aider le service optique De retour de déjeuner, direction la salle de réunion. Roland Salut y retrouve Yanne Chembo, du département d’optique de Femto-ST. Ils discutent d’un projet de lithographie sur des « systèmes intelligents intégrés dans la matière ». Aujourd’hui, il est question d’un résonateur optique, destiné « à démultiplier l’information véhiculée dans une fibre optique ». Cette fois, c’est la station de lithographie électronique gérée par Roland Salut qui va permettre de graver le motif désiré. Dans la machine, une galette de silicium recouverte d’une résine polymère est soumise à un flux sa mission S’occuper du matériel de nanotechnologie appartenant à la centrale Mimento 1 de l’institut Femto-ST 2, à Besançon. Mais aussi former ses collègues à l’utilisation de ce matériel et faire de la veille sur les nouveaux procédés et équipements. d’électrons. Une fois qu’elle aura été plongée dans un révélateur, il ne restera plus, au choix, que la partie exposée aux électrons ou bien l’autre. 16 h 00 Peaufiner les réglages L’ingénieur retourne auprès du nouveau Fib. Il lui reste plusieurs fonctions à optimiser sur la machine. « J’aimerais maintenant non pas graver, mais réaliser des dépôts de platine sur des galettes de substrat, commente-t-il. Pour cela, un gaz est injecté près de l’arrivée du faisceau d’ions. Ces ions vont casser les molécules du gaz, permettant au platine qu’il contient de se déposer. » Le succès de l’opération tient au réglage très fin de plusieurs paramètres. « Je vais devoir jouer à la fois sur la vitesse du faisceau d’ions, sur leur quantité et sur le nombre de passages du faisceau en chaque point », détaille Roland Salut. Concentré sur son mur d’écrans, il s’attelle à ce nouveau casse-tête. 1. La centrale Mimento est dédiée à la microfabrication pour la mécanique, les nanosciences, la thermique et l’optique. 2. Unité CNRS/Université de Franche-Comté/ENSMM/UTBM. 3. Unité CNRS/Université de Franche-Comté. Contact : Femto-ST, Besançon Roland Salut > salut@femto-st.fr