N°270 I janvier-février 2013 Stratégie | 35 w Innovation On peut fabriquer en série des nanocomposants Par mathieu groussOn w Si les nanotechnologies s’émancipent un jour des laboratoires de recherche fondamentale, elles le devront sans doute pour une part à Pascale Senellart, du Laboratoire de photonique et de nanostructures (LPN) 1, à Marcoussis. Cette chercheuse a en effet mis au point, en collaboration avec la société Attocube, la « lithographie in-situ ». Ce procédé permet d’insérer précisément un nano-objet dans un minuscule composant. Grâce à cette technique, il est ainsi possible de fabriquer un grand nombre de minuscules composants, de manière parfaitement reproductible. Cette manipulation d’objets infimes est une opération délicate, qui se décompose en deux phases. D’abord, sur une plaque couverte d’une série de nanoobjets obtenus par croissance cristalline, on commence par localiser celui qui possède les caractéristiques recherchées, en provoquant chez lui l’émission delumière. Ce repérage achevé, on peut alors réaliser au laser le façonnage lithographique du composant autour du nano-objet sélectionné. Traditionnellement, les nano-objets intéressants étant disséminés sur la plaque de manière aléatoire, la réalisation d’un composant était le fruit du hasard. « Fin 2007, j’étais certaine que cela marcherait, même si d’aucuns jugeaient nominations i Le bureau du CNRS à Washington a une nouvelle équipe à sa tête. Xavier Morise, chargé de recherche du CNRS, a été nommé directeur du bureau tandis que Jean Thèves, ingénieur de recherche, prend le poste nouvellement créé de directeur adjoint afin de renforcer l’action de l’organisme aux États-Unis, au Canada et au Mexique. 01 Machine de lithographie in-situ développée grâce à une collaboration entre Attocube et le cnrs. 02 Mesure au microscope electronique à balayage de composants fabriqués avec la technique de lithographie in-situ. façonnagEi iLithographiquei Procédé consistant à obtenir des nano-objets par gravure dans une résine sur laquelle ont préalablement été dessinés des motifs. international i Le 29 novembre 2012 a été signé, à Moscou, un accord de coopération scientifique et universitaire pour la création d’un Centre franco-sibérien de formation et de recherche. Ce projet associe, côté français, le CNRS, l’Inserm, l’Inalco et 18 universités et, côté russe, la branche sibérienne de l’Académie des sciences et 14 universités. But de cet accord ? Renforcer les collaborations scientifiques et les formations de haut niveau dans diverses disciplines. 01 © ATTOCUBE 02 l’idée folle », se souvient Pascale Senellart. Un an plus tard, le procédé est démontré au laboratoire pour l’assemblage d’une « boîte quantique » : un composantutilisé notamment pour les développements de l’informatique quantique. Ce succès a conduit à un partenariat entre le CNRS et Attocube pour développer une machine qui exploite le procédé inventé au LPN. « Elle est arrivée dans nos locaux fin 2010, précise Pascale Senellart. Depuis, nous avons démontré que ses possibilités vont bien au-delà de ce que nous avions montré en 2008. » Et d’ajouter : « Nous sommes les seuls à pouvoir graver une centaine de nanocomposants d’un seul coup. » L’appareil figure aujourd’hui au catalogue d’Attocube qui voit en lui le futur de la nanolithographie. Dans un premier temps, c’est le marché scientifique qui est visé. Mais il y a fort à parier que la machine imaginée par Pascale Senellart contribue à une large diffusion des nanotechnologies ! 1. Unité CNRS/Télécom ParisTech/Télécom SudParis/Université Paris-Diderot. Contact : Laboratoire de photonique et de nanostructures, Marcoussis Pascale Senellart > pascale.senellart@lpn.cnrs.fr © P.SENELLARt/LPN-CNRS