106 Des outils pour sonder l’Univers La réalisation d’un masque coronographique Figure 1. Schéma du masque coronographique en g ermanium monocristallin (la hauteur de marche n’étant pas à l’échelle). Inventée par Bernard Lyot (1897-1952) au début des années 30, la coronographie consiste à reproduire une éclipse totale pour observer la couronne solaire sans qu’elle se trouve noyée par la luminosité de l’astre. Le principe consiste à placer une pastille opaque sur l’image du Soleil formée par une lunette astronomique, afin d’occulter le disque solaire et de ne laisser voir ainsi que la lumière de la couronne solaire. Aujourd’hui, la coronographie est utilisée pour l’observation d’autres étoiles que le Soleil et il existe une alternative aux pastilles de Lyot pour réaliser ces observations : ce sont les tout nouveaux masques de phase à quatre quadrants (4QPM), qui permettent de meilleures performances. Leur réalisation consiste 10m en une lamelle de géométrie quasiment parfaite, présentant deux quadrants de différente épaisseur par rapport aux deux autres, d’une demi-longueur d’onde optique dans le germanium à la fréquence d’observation (figure 1). L’instrument MIRI (pour Mid Infrared Instrument), destiné au futur télescope JWST (pour James Webb Space Telescope), utilisera ce principe pour cibler trois longueurs d’onde d’observation dans l’infrarouge – d’où le développement de masques de type 4QPM en germanium, un matériau qui présente l’avantage de devenir transparent dans ce domaine d’observation. Dans le processus de fabrication, le Laboratoire d'études spatiales et Figure 2. Image en microscopie électronique à balayage montrant le centre de l’élément après gravure. Échelle 10μm. CLEFS CEA - N°58 - AUTOMNE 2009 Anne de Vismes/CEA d'instrumentation en astrophysique (Lesia) a fourni des parallélépipèdes, dans un monocristal de germanium, présentant des faces parallèles et planes. L’obtention de la différence de marche dans le germanium doit tout à la grande précision des outils de microfabrication de la salle blanche du Service de physique de l’état condensé (Spec). Deux techniques furent utilisées : la lithographie optique pour la définition des quadrants à protéger et la gravure ionique réactive pour la gravure des quadrants plus fins. Mais pour les chercheurs, la plus grande difficulté de fabrication des masques fut de parvenir à la précision requise : • une différence de marche établie entre 0,8 μm et 2 μm en fonction de la longueur d’onde de travail ; • une erreur de marche inférieure à 0,5% ; • une excellente homogénéité malgré une surface totale dépassant le cm 2 ; • une rugosité de surface maintenue inférieure à 30 nanomètres sur l’ensemble du composant. Il a fallu réaliser une soixantaine de prototypes et passer par toute une série d’étapes (dépôt de résines, gravure réactive, nettoyage, contrôle de la hauteur de marche etc) pour obtenir enfin les trois masques définitifs qui équiperont MIRI (figure 2). > Claude Fermon et Myriam Pannetier-Lecœur Service de physique de l’état condensé (Spec) Institut rayonnement matière de Saclay (Iramis) Direction des sciences de la matière (DSM) CEA Centre de Saclay > Anne de Vismes Institut de radioprotection et de sûreté nucléaire (IRSN) Centre du Bois des Rames (Orsay) CEA |